|
 |
真空蒸着装置
RDシリーズ
EDシリーズ |
|
 |
スパッタ装置
SPシリーズ
カスタマイズ |
|
 |
CVD装置
CTシリーズ
CPシリーズ
MOCVD装置
レーザーCVD装置
マイクロ波CVD装置
触媒CVD装置 |
|
 |
CVI装置
CIシリーズ |
|
 |
真空乾燥炉(真空脱ガス炉等)
SBFシリーズ
カスタマイズ |
|
 |
真空熱処理炉(真空焼結炉等)
VBシリーズ
カスタマイズ |
|
 |
真空溶解炉
SVMシリーズ
カスタマイズ |
|
 |
RIE装置
カスタマイズ |
|
 |
各種装置(真空ロウ付け炉等)
半導体結晶表面改質装置
真空脱泡装置
真空注液装置
高電圧高真空エージング装置
高真空制御ロウ付け装置
外熱式真空ロウ付け炉
PIA-DLC成膜装置
レップ式金属粉末製造装置 |
|
 |
イオンプレーティング装置
ICシリーズ
カスタマイズ |