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HOME>真空装置>RIE装置 【おすすめコンテンツ】真空蒸着装置/スパッタ装置/CVD装置/真空乾燥炉/真空熱処理炉/真空溶解炉/各種装置

下記装置は一部を掲載 貴社・貴学のご予算や仕様に応じて自由にカスタマイズ可能 まずはご相談ください　早急にご提案いたします 型　式 外　観 特　徴 仕　様 RIE装置 　本装置はPoly-Si膜・酸化膜・窒化膜などをCF4,CHF3,SF6等のガスでエッチングするための装置です。 　 さらにO2ガスでのフォトレジストのアッシングができる性能を有しています。 詳細仕様 上部へ戻る

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