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内熱式真空加圧ロウ付け炉D043
＜装置概要＞
本装置は、Moヒーターにより均熱領域を最高1,000℃まで昇温し、ロウ付けによるガス封止を行う装置です。圧力は×10-4(Pa)の減圧領域から266(kPa)の加圧領域の範囲内にて作業可能です。真空排気、加熱、ガス導入、冷却動作を自動で行います。
＜装置性能＞
1)到達圧力(負圧) 1.33×10-4Pa(常温・無負荷・空炉時)
2)最高圧力(陽圧) 266kPa
3)排気速度(負圧) ×10-3Pa台迄20分(常温・無負荷時)
4)均熱領域 W150mm×D150mm×H150mm
5)最高温度 1,000℃
6)常用温度 900℃
7)昇温速度 常温～常用温度迄合計45分以内の加熱能力
8)温度分布 真空下1,000℃時において2点の温度分布が±5℃
9)降温速度(ガス導入時) 900℃～100℃迄50分以内の冷却能力
10)排気系操作 手動/自動方式
11)加熱系操作 プログラム調節計による制御
12)操作方法 10インチ(TFT LCD カラー)タッチパネルによる操作
自動操作/手動操作/各警報表示
13)記録媒体 5.7型TFTカラー液晶画面ペーパーレスレコーダ |
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