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型 式 外 観 特 徴 仕 様
RIE装置 RIE装置  本装置はPoly-Si膜・酸化膜・窒化膜などをCF4,CHF3,SF6等のガスでエッチングするための装置です。
  さらにO2ガスでのフォトレジストのアッシングができる性能を有しています。
詳細仕様
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